石英製品（Pyromatics社製）
米国クリーブランド市（オハイオ州）にあるPyromatics社は、ユニークな性質を持つ不透明石英の開発に成功し、販売活動を開始しました。
商品概要
Pyro LD-80は極小な気泡を有する不透明石英です。
Pyro LD-80は現存する石英ガラスに必要な物性を有し、かつ高純度であるので半導体プロセス部品として最適な製品です。
熱伝導を最小にしたい分野（減圧CVD装置）あるいは電磁波エネルギーの伝達を最大限にしたい分野（エピタキシー装置）に最適の不透明石英です。
さらにPyro LD-80はモールド法にて製作されるためにニアネットシェイプの製品を供給可能です。
（特許申請中）
Pyro LD-80は現存する石英ガラスに必要な物性を有し、かつ高純度であるので半導体プロセス部品として最適な製品です。
熱伝導を最小にしたい分野（減圧CVD装置）あるいは電磁波エネルギーの伝達を最大限にしたい分野（エピタキシー装置）に最適の不透明石英です。
さらにPyro LD-80はモールド法にて製作されるためにニアネットシェイプの製品を供給可能です。
（特許申請中）
特徴
1）99.998%純度を有する半導体グレードです。
2）製品の密度は1.76 g/ccです。（理論値の80%の密度）
3）平均気泡の大きさは20μ以下です。
4）Pyro LD-80は通常の石英の様に化学的に不活性で1200度までの温度で使用可能です。
5）Pyro LD-80は通常の不透明石英と比較し赤外線の熱を85%まで減らします。
6）Pyro LD-80は通常の不透明石英と比較し熱伝導を40%まで減らします。
7）Pyro LD-80は通常の透明、不透明石英と溶接可能です。
8）Pyro LD-80は火炎溶射にて平滑およびスムーズ表面がでます。
2）製品の密度は1.76 g/ccです。（理論値の80%の密度）
3）平均気泡の大きさは20μ以下です。
4）Pyro LD-80は通常の石英の様に化学的に不活性で1200度までの温度で使用可能です。
5）Pyro LD-80は通常の不透明石英と比較し赤外線の熱を85%まで減らします。
6）Pyro LD-80は通常の不透明石英と比較し熱伝導を40%まで減らします。
7）Pyro LD-80は通常の透明、不透明石英と溶接可能です。
8）Pyro LD-80は火炎溶射にて平滑およびスムーズ表面がでます。
用途
・減圧CVD炉の断熱部品
・エピタキシー装置のコイルカバー
・断熱が重要視される部品
・エピタキシー装置のコイルカバー
・断熱が重要視される部品
関連サイト
お問い合わせ
| 機能材料部 | 〒141-0032 東京都品川区大崎一丁目2番2号 アートヴィレッジ大崎セントラルタワー12階 TEL：03-5435-6515 FAX：03-5435-0071 |