PG/加工品
化学的安定性、高純度、超高温にて安定、異方性があるなどの特徴を持っています。
商品概要
パイロリティック・グラファイト（P.G.）は高温の真空炉中で、炭化水素を分解し気相成長（CVD）で得られた新しいグラファイトです。
高純度で密度も理論値に近く、強い異方性を持っています。
この異方性はPGが下図のような層構造をしているために生まれた特性です。
熱的にはAまたはBの方向で熱の良導体になりますが、Cの方向では、アルミナの断熱材より熱伝導率が小さくなります。
機械的強度や熱的安定性は、通常のグラファイトより優れています。
必要に応じた形状、板、ルツボ、円筒状などで供給致します。
コーティングをすることで、グラファイトを不浸透性にする事も出来ます。
高純度で密度も理論値に近く、強い異方性を持っています。
この異方性はPGが下図のような層構造をしているために生まれた特性です。
熱的にはAまたはBの方向で熱の良導体になりますが、Cの方向では、アルミナの断熱材より熱伝導率が小さくなります。
機械的強度や熱的安定性は、通常のグラファイトより優れています。
必要に応じた形状、板、ルツボ、円筒状などで供給致します。
コーティングをすることで、グラファイトを不浸透性にする事も出来ます。
特徴
（1）化学的に安定です。
（2）高純度です。
（3）3000℃まで、安定しています。
（4）不浸透性です。
（5）脱ガス、ダストが出にくい。
（6）熱衝撃に強い。
（7）加工性が高い。
（2）高純度です。
（3）3000℃まで、安定しています。
（4）不浸透性です。
（5）脱ガス、ダストが出にくい。
（6）熱衝撃に強い。
（7）加工性が高い。
用途
高温ウエハサセプタ、エッチャー電極、カソード、MOCVD装置部品、GaN基板製造装置部品、イオン注入装置部品
カタログ PDF・DXF
お問い合わせ
| 機能材料部 | 〒141-0032 東京都品川区大崎一丁目2番2号 アートヴィレッジ大崎セントラルタワー12階 TEL：03-5435-6515 FAX：03-5435-0071 |