商品情報
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PG/PBNヒーター PG/PBN Heater
概要
条件により1,500℃まで使用可、超高真空下で優れた性能、腐食性ガスに対し不活性、耐熱衝撃性があるなど、優れた特徴を持つ製品です。
特徴
CVDプロセスで生成される2種類の物質（PG、PBN）を複合化させることによりできる、昇温、降温特性に優れたセラミックヒーターです。
ヒーターパターンの自由度大という特性もあります。
用途（アプリケーション）
ガラス基板加熱体
半導体ウエハ加熱体
SEM/STM
お問い合わせ
機能材料部
〒141-0001
東京都品川区北品川五丁目5番15号
大崎ブライトコア19階
TEL：03-3442-5142 FAX：03-3442-5175