商品概要

Pyro LD-80は極小な気泡を有する不透明石英です。
また高純度であり半導体プロセス部品として最適な製品です。
熱伝導を最小にしたい分野（減圧CVD装置）あるいは電磁波エネルギーの伝達を最大限にしたい分野（エピタキシー装置）に最適の不透明石英です。
さらにPyro LD-80はモールド法にて製作されるためにニアネットシェイプの製品を供給可能です。
（特許申請中）
 

特徴

1）99.998%純度を有する半導体グレードです。
2）製品の密度は1.76 g/ccです。（理論値の80%の密度）
3）平均気泡の大きさは20μ以下です。
4）化学的に不活性で1200度までの温度で使用可能です。
5）通常の不透明石英と比較し赤外線の熱を85%まで減らします。
6）通常の不透明石英と比較し熱伝導を40%まで減らします。
7）通常の透明、不透明石英と溶接可能です。
8）火炎溶射にて平滑およびスムーズ表面がでます。
 

用途

・減圧CVD炉の断熱部品
・エピタキシー装置のコイルカバー
・断熱が重要視される部品
 

参考URL

パイロマティック社