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ハブ・ブレード(Cuブレード) Dicing blade for Cu metal
概要
Cuブレードは、銅メタリゼーション・ウェハー用です。
商品概要
この新しいCUシリーズ・ハブ・ブレードは、特にカッパー・メタリゼーション・ウェハー切断時のブレードの目詰まりを防ぐように開発され、トップサイド、バックサイドの両チッピングを減少します。特徴
カッパー・メタリゼーション・ウェハー用ハブ・ブレードこの新しいCUシリーズ・ハブ・ブレードは、特にカッパー・メタリゼーション・ウェハー切断時のブレードの目詰まりを防ぐように開発され、トップサイド、バックサイドの両チッピングを減少します。
カッパーウェハーダイシングで証明し、テストしたソリューション
この新しい技術により多くのチャレンジがなされ、優れたエレクトロマイグレーション特性や、かなり低いコストの組立費の可能性などの利点により、多くのIC製造メーカーでカッパーメタリゼーションを使用するようになってきています。 カッパー・メタリゼーション・ウェハーのダイシングをする時は、カッパーとニッケルとの化学親和力の増加を補正し、ブレードの目詰まりを取り除き、トップサイド、バックサイドチッピングを引き起こさないようするため、従来のブレード製法とプロセスパラメーターの変更をしなければなりません。 K&S社はこのチャレンジに、新しいセミテック製CUシリーズ・ハブ・ブレードで答え、優れた精度、スループット、ブレードライフをご提供します。
CUシリーズ・ブレード組成は過度の目詰まりを防止します。
目詰まりが起こった時、そのブレードの新しいダイヤモンドを露出する能力は著しく低下します。 ブレード目詰まりはまた、カーフエリア、特にブレードとワークピースの間で多くの摩擦を生み出し、それはしばしばトップサイド、バックサイド両チッピングの主たる原因となります。 この新しいCUシリーズ・ブレードはこの減少を防止するためのスペシャル・バインダー組成、粒子サイズやダイヤモンド集中度を使用しています。
K&S社ブレードとその技術力でトータルソリューションを提供します。
ツール、装置、技術の融合を伴うトータルソリューションの知識により、K&S社はカッパー・メタリゼーション・ウェハーダイシングを成功させる多数のプロセスパラメーターを定めるために広範囲なリサーチを行っております。適切な装置を使用し、推奨スピンドル・スピード、送り速度を設定することでCUシリーズ・ブレードはカット品質、スループット、ブレードライフのすべての基準を満たすことが可能です。
アキュカーフ ブレード
当社の新しいアキュカーフ シリーズは、厚ウェハーを、狭いストリート幅でダイシングする時に、優れたカーフ・コントロールと耐久性を提供します。 セミテックカタログから直接相当ブレードとの置き換えができ、アキュカーフ ブレードは送り速度の最大化と生産性の向上を可能にします。
貴社にとってどのブレードがベストですか?
世界中の当社のダイシング・テクノロジー・センターから、K&S エンジニアが貴社の特有な要求を分析し、適切なブレード、装置、ダイシングノウハウを含む包括的で分析されたソリューションを提供致します。
関連サイト
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