巴工業株式会社

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ハブ・ブレード(ノバ) Hub blade NOVA

概要

Low-kウェハー用ハブ・ダイシング・ブレードです。

​商品概要

お手持ちのブレードをNovaに変えるだけでLow-kウェハーダイシングが可能です。
Low-kウェハーダイシング用に特別に開発したハブブレード。
製品サイズの小型化に伴いICパフォーマンスを維持するため、低誘電率(Low-k)材料によるウェハー製造への移行が進んでいます。
電気信号の伝搬速度の高速化と低消費電力を提供する一方で、Low-k絶縁材料はダイシング工程で剥離や欠けが発生する傾向にあり、その結果として製品歩留まりが低下します。K&S社 セミテック製NOVA(ノバ)ハブ・ブレードは、既存のダイシング装置及び加工法を利用して、様々なLow-kウェハーのダイシングにおいて高い歩留まりと良好な生産性を実現します。
NOVAブレードをお使い頂くことでLow-kウェハーダイシングを導入する際でも新しい技術を必要とせず、素早く且つ、低コストでダイシングプロセスの確立が可能です。


特徴

・ Low-kウェハー・ダイシングで高い歩留まりを可能にします。
・ 市場投入への時間を短縮します。
・ 既存のダイシング法がそのまま使えます。
・ Low-kウェハーダイシングの問題へ即対応できます。
 

K&S社 NOVAハブ・ブレード

K&S社 NOVAハブ・ブレードはLow-kウェハーダイシングの歩留まりと工程内のスループットを向上させます。

ダイヤモンド集中度とニッケルボンドの特殊な処方を組み合わせることで、NOVAハブ・ブレードはダイシング工程におけるチッピングやピーリングというLow-kウェハーに特有の問題点を改善します。業界の標準的なカット速度でダイシングしても高い歩留まりを達成します。
NOVAハブ・ブレードをLow-kウェハーダイシングに使用することによって、生産性を犠牲にすることなく、歩留まりを維持します。

異なったボンドマトリックスは様様なLow-kウェハー要求に対応します。
いくつかのLow-kウェハーはより脆く他のウエハ素材よりダイシングすることが難しい場合がありますので、K&S社は、NOVAハブ・ブレードの異なったボンドマトリックスを提供することで特殊な用途にも対応して参ります(もちろん標準の刃厚、刃出しを選定頂けます)。K&S社は適切なダイシングプロセスとNOVAハブ・ブレードの選定を提供し御社のアプリケーションの最適化をお手伝い致します。

関連サイト

http://www.kns.com/Templates/ShowPage.asp?TMID=108&FID=120&PID=2190

お問い合わせ

電子材料部(ブレード)
〒141-0001
東京都品川区北品川五丁目5番15号
大崎ブライトコア19階
TEL:03-3442-5143 FAX:03-3442-5175

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