商品情報
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PG加工品（熱分解黒鉛、熱分解グラファイト） Pyrolytic Graphite (PG)
概要
CVD法で製造した高純度グラファイトです。超高温で安定し、腐食性ガスやプラズマに強い為、半導体製造装置部品として優れた性能を発揮します。既存の黒鉛・セラミックスに比べ、部材の長寿命化が期待できます。
商品概要
・脱ガスやダストが少ない高純度黒鉛
（純度99.999%以上）
・反応性が低く、耐腐食性
（アンモニア、水素、塩酸、フッ酸等に強い）
・軽量
（銅の約4分の1）
・耐プラズマ性
半導体用途
・化合物半導体装置部品（ウエハサセプタ、ホルダ、カバー等）
・イオン注入装置部品、引き出し電極等
・スパッタリングターゲット
・ドライエッチング装置部品
・均熱板
・加熱用ヒーター
放熱用途
熱伝導率1,700W/m・Kの高熱伝導グレードHTPGを参照下さい。
代表物性値
PGは積層構造による異方性を持ちます。
| 項目 | 単位 | PG |
|---|---|---|
| 密度 | g/cm3 | 2.22 |
| 熱伝導率（A) | W/m・K | 345 |
| 熱伝導率（C) | W/m・K | 1.7 |
| 固有抵抗（A) | μΩ・m | 5 |
| 固有抵抗（C) | μΩ・m | 6000 |
| 熱膨張係数（A) | 10-6/K | 0.6 |
| 熱膨張係数（C) | 10-6/K | 6.8 |
a（及びb）方向：面方向
c方向：積層方向
お問い合わせ
機能材料部
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大崎ブライトコア19階
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