商品情報
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PBN(熱分解窒化ホウ素) Pyrolytic Boron Nitride (PBN)
概要
化学的安定性が高く、高純度であり、なおかつ2000℃まで安定し、異方性もある製品です。
特徴
PBNは気相成長法(CVD法)によってつくられた窒化ホウ素(BN)で、その特異的な構造と製造方法によって以下のような特徴を持っております。
- ・高純度
・高強度
・異方特性
・高絶縁性
・高熱伝導率(ab方向)
・高耐熱
・耐熱衝撃性
・化学的不活性
用途
・有機EL装置用ルツボ
・単結晶引き上げ(CZ法)用ルツボ
・MBE蒸着装置用ルツボ
・金属蒸着用ルツボ、ハースライナー
・スパッタリングターゲット材
・真空蒸着装置絶縁部材
・基板加熱用ヒーター
・CIGS太陽電池装置用ルツボ、ボート
・その他PBNコート製品
その用途は、半導体、太陽電池、有機EL、各種薄膜製造等多くの分野にわたっており、ルツボ、板、管、皿、ボートなどの多種多様な形とご要望にお応え致します。
これまで多くの研究機関・メーカー様に採用頂いております。
お問い合わせ
機能材料部
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