巴工業株式会社

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PG/PBN HEATER PG/PBN HEATER

概要

条件により1,500℃まで使用可、超高真空下で優れた性能、腐食性ガスに対し不活性、耐熱衝撃性があるなど、優れた特徴を持つ製品です。

特徴

CVDプロセスで生成される2種類の物質(PG、PBN)を複合化させることによりできる、昇温、降温特性に優れたセラミックヒーターです。
ヒーターパターンの自由度大という特性もあります。
 

用途(アプリケーション)

ガラス基板加熱体
半導体ウエハ加熱体
SEM/STM
 

関連サイト

CVT社 URL
https://www.cv-technology.com/en/

お問い合わせ

機能材料部
〒141-0001
東京都品川区北品川五丁目5番15号
大崎ブライトコア19階
TEL:03-3442-5142 FAX:03-3442-5175

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