巴工業株式会社

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SiC加工品 Silicon Carbide ceramics

概要

酸化雰囲気、腐食ガス雰囲気中でも使用でき、耐摩耗性・高熱伝導率・低熱膨張率・耐薬品性を備えたマテリアルです。
物性・コストの異なる様々な製法で作られたSiCをお客様のご用途に応じて提供致します。

用途例

MOCVD装置:サセプタ、ヒーター、ダミーウエハ
RTP/CVD装置:エッジリング・フォーカスリング
エッチング装置:電極、リフトピン
アニール装置:ヒーター、サセプター、ダミーウエハ、ラック
 

CVD製バルク品

・高純度99.9995%で最も理論値に近い物性
・高抵抗グレードと低抵抗グレードがあります

 

反応焼結

・焼結前に成形可能なのでコスト削減に
・接合可能なので他製法では作れない/高価な形状を作れます
・安価で比較的短納期


CVDコート

基材に焼結SiCやカーボンを用いるため・・・
・表面上高純度でありながら安価
・反応焼結SiCが使えない環境で活躍
・SiC単体より耐熱衝撃性に優れる

 

物性比較

お問い合わせ

機能材料部
〒141-0001
東京都品川区北品川五丁目5番15号
大崎ブライトコア19階
TEL:03-3442-5142 FAX:03-3442-5175

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