巴工業株式会社

商品情報
products

  1. 化学品事業TOP
  2. 商品情報
  3. 機能材料
  4. SiC加工品

SiC加工品 Silicon Carbide ceramics

概要

酸化雰囲気、腐食ガス雰囲気中でも使用でき、耐摩耗性・高熱伝導率・低熱膨張率・耐薬品性を備えたマテリアルです。
物性・コストの異なる様々な製法で作られたSiCをお客様のご用途に応じて提供致します。

用途例

MOCVD装置:サセプタ、ヒーター、ダミーウエハ
RTP/CVD装置:エッジリング・フォーカスリング
エッチング装置:電極、リフトピン
アニール装置:ヒーター、サセプター、ダミーウエハ、ラック
 

CVD製バルク品

・高純度99.9995%で最も理論値に近い物性
・高抵抗グレードと低抵抗グレードがあります
CVD製バルク品
 

反応焼結

・焼結前に成形可能なのでコスト削減に
・接合可能なので他製法では作れない/高価な形状を作れます
・安価で比較的短納期
反応焼結


CVDコート

基材に焼結SiCやカーボンを用いるため・・・
・表面上高純度でありながら安価
・反応焼結SiCが使えない環境で活躍
・SiC単体より耐熱衝撃性に優れる
CVDコート
 

物性比較

  CVD-SiC バルク CVD-SiC コート 反応焼結Si-SiC
純度 99.9995% 99.9995% 99.5%
密度 3.21g/cm3 3.21g/cm3 3.00g/cm3
熱伝導率 250W/mK 280W/mK 190W/mK
熱膨張係数 4.5×10-6/K 4.5×10-6/K 5.0×10-6/K
曲げ強さ 450MPa(RT) 392MPa(RT) 300MPa(RT)
  560MPa(1300℃) - 415MPa(1300℃)
ヤング率 450GPa 490GPa 300GPa
納期 1.5ヶ月 2.5ヶ月 1ヶ月
価格
利点 最も高純度、高密度、高強度
電気抵抗率の高/低選択可
高純度、高密度、低価格 立体構造部材の作製容易
短期納、低価格
欠点 高価 納期、寸法精度、耐摩耗性
高抵抗率品のみ
Siリッチ、低純度
低低効率品のみ

お問い合わせ

機能材料部
〒141-0001
東京都品川区北品川五丁目5番15号
大崎ブライトコア19階
TEL:03-3442-5142 FAX:03-3442-5175

一覧へ戻る