商品情報
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SiCヒーター SiC Heater
概要
反応焼結SiCで作られたヒーターで、1000℃を超えるO2雰囲気中でもご使用可能です。
特徴
・O2、H2、水蒸気雰囲気中でも1000℃以上の高い温度でご使用可能です。・カーボンヒーターに比べて、プラズマ耐性に優れています。
・ご希望の形状で提供できます。また形状の提案も可能です。
形状例
主な仕様
| 密度 | >3.00 g/cc |
|---|---|
| 曲げ強度 | 235±7 Mpa |
| 熱伝導率 | 214 W/mk |
| 熱膨張率 | 4.5x10-6 /K |
| 固有抵抗値 | 8～20x10-3 ohm-cm |
お問い合わせ
機能材料部
〒141-0001
東京都品川区北品川五丁目5番15号
大崎ブライトコア19階
TEL：03-3442-5142 FAX：03-3442-5175