巴工業株式会社

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ハブ・ブレード hub blade

概要

シリコンウェハー用ハブ・ダイシング・ブレードです。

商品概要

K&Sダイシングブレードは、半導体シリコンウェハー・ダイシング向けに開発され、高集積化、狭ストリート幅、薄ウェハー化や高スループット要求に応え、優れたカット品質、ブレードライフ、スループットを提供します。
 

特徴

シリコン・ウェハー・ダイシング用 ハブ・ブレード
最高のカット品質、スループット、ブレードライフを提供するために広範なグリットサイズ、ダイヤモンド集中度、ボンド硬さが最適化されます。

高度なシリコン・ダイシング
高集積化、狭ストリート幅、薄ウェハー化や高スループット要求は、ダイシング・パラメーター改善の探求にIC製造メーカーを導く多くの要因のごく一部です。 K&Sはこの要望に応えるため、柔軟なブレードの化学的性質や、ダイヤモンドグリットサイズ、ダイヤモンド集中度、ニッケルボンドの硬さを正確にコントロールするユニークで独自の製造プロセスを開発してきました。ブレードの形状とプロセス・パラメーターとともに、これらの変数を最適化する事によって、K&Sのハブ・ブレードは優れたカット品質、ブレードライフ、スループットを提供します。

広範なグリットサイズ
小さなダイヤモンドグリットは、簡単にニッケルバインダーからリリースされ、新しいダイヤモンドを露出することによりブレードの鋭敏な切れ味を維持し、チッピングを最小にします。 一方で、大きなダイヤモンドは長いライフを提供しながら目詰まりにも強く、高い送り速度を可能とします。 それゆえ、お客様の要求水準にもっとも合ったグリットを選択することによって、ベストパフォーマンスを得ることができます。 K&Sのシリコン用ブレードは、2μm/4μm~4μm/8μmの範囲で様々なグリットサイズを選択することができます。

ボンド硬さの可変性
柔らかいニッケルバインダーはダイヤモンドグリットを容易にリリースし、新しいシャープなダイヤモンドを露出し、カット品質を維持する手助けをします。 また柔らかいボンドは、目詰まりしにくい傾向にありますが、 硬いニッケルボンドは、磨耗に非常に強い特徴があります。 カット品質とブレードライフの最適なバランスを得るため、K&Sは4つの異なるボンド硬さを提供します。

4つの異なるダイヤモンド集中度からの選択
ダイヤモンド集中度は、目詰まりが問題の場合は、大きなダイヤモンドグリットは適していません。 低集中度はホイールの目詰まりに非常に効果的である一方、高集中度はブレードライフを伸ばし、高い送り速度を可能にします。 K&S ハブ・ブレードは、目詰まり、ブレードライフ、スループットを希望のレベルで釣り合いをとるため、4つの異なるダイヤモンド集中度から選択することが可能です。

アキュカーフ ブレード
新しいアキュカーフ シリーズは、厚ウェハーを、狭いストリート幅にダイシングする時に優れたカーフ・コントロールと耐久性を提供します。 カタログから直接相当ブレードとの置き換えができ、アキュカーフ ブレードは送り速度の最大化と生産性の向上を可能にします。

貴社にとってどのブレードがベストですか?
世界中のダイシング・テクノロジー・センターから、K&S エンジニアが貴社特有の要望を分析し、適切なブレード、装置、ダイシングノウハウを含む包括的で分析されたソリューションを提供します。
 

アキュカーフ・ブレード

アキュカーフ ブレード
厚ウェハー/狭ストリート ダイシング アプリケーション用

・送り速度の最大化
・ ブレード破損の減少
・ カット均一性の改善
・ Wマックスの縮小 

Wマックス( カーフ+チッピング )の比較
送り速度一定&スピンドル回転数変更
同種 S1030‐Q5xH‐000、600μm厚のウェハー


上記のグラフは送り速度を固定し、スピンドル回転数を変化させた時のアキュカーフ ブレードと標準ブレードを比較したもので、前者におけるWマックスの平均値と最大値の改善を例証しています。
重ねて、Wマックスの平均値と最大値はアキュカーフブレードを使用した時、著しく改善しています。

継続的な製品改善を堅くお約束するK&Sは、今回優れたカーフ幅コントロールとブレード耐久性の改善のためにアキュカーフ・ダイシング・ブレードを開発しました。

厚いウェハーから薄いウェハー全般を通じ、貴社のダイシング・パートナーとして
IC回路の集積化とメタリゼーション・レイヤーの継続的な増加により、半導体製造メーカーは狭ストリートのより大きく、厚いウェハーを製造しています。 その結果として刃出し量の長く、より薄い刃厚のダイシング・ブレードは次々に一般的になってきました。 新しいアキュカーフ・ダイシング・ブレードは、厚ウェハー/狭ストリート・アプリケーションにおいてブレード安定性の強化と優れたカーフ幅コントロールを提供するため、K&Sのリサーチ・プロダクト開発チームによって開発されました。 何よりもまず、アキュカーフ・ブレードは、貴社が現在使用中のK&Sのダイシング・ホィールと直ちに交換することができます。単にブレードを変更することにより、直にカット品質と作業量の改善を可能とします。

カット均一性の比較
送り速度&スピンドル回転数一定
品番S1235-QHH-000、600μm厚ウェハー

上記のグラフはアキュカーフ品番S1235-Q5HH-000を使用した時のWマックスの平均値、最大値の標準偏差の改善を例証しています。 アキュカーフを使用した時のWマックスの平均値、最大値両方の著しい改善を示すデータです。

ブレード破損率
アキュカーフ・ブレード vs. 標準ブレード
過激なパラメーターにおける破壊テスト



上記のグラフは大変過激な送り速度でテストした時の2種類の異なるアキュカーフ・ブレードと2種類の標準ブレードのブレード破損率をを比較しています。 アキュカーフ・ブレードは標準ブレードと比較して破損率は劇的に減少しています。

すぐに素晴らしいカット均一性と作業性の利益を享受できます。
データが示すように、アキュカーフ・ダイシング・ブレードはカット品質の改善と作業量の増加という利益をすぐに還付してくれます。 標準セミテック・ブランド ブレードのWマックスの平均値をより縮小させるだけでなく、カット品質改善のためWマックスの最大値も減少します。 アキュカーフ・ブレードはまた標準ブレードよりずっと破損に対し耐性があり、送り速度の最大化とより高い生産性を提供します。

オーダー・インフォメーション
アキュカーフ・ダイシング・ブレードは下記の刃厚と刃出し量*を提供できます。 「SH」(標準ハブ)もしくは「00」(アキュカット)指定を、下記に示すパーツナンバーにあるように「HH」(アキュカーフ)指定で置き換えることにより相当セミテック・ブランド・ブレードをダイレクトにご発注することができます。
Blade Part Number Thickness(mils) Exposure(mils)
x0620-xxHH-000 25μm Kerf 20-25
x0825-xxHH-000 0.8 max 25-30
x1025-xxHH-000 1.0 max 25-30
x1030-xxHH-000 1.0 max 30-35
x1235-xxHH-000 1.2 max 35-40
x1440-xxHH-000 1.4 max 40-45

*スペシャル・リクエストによってその他の刃厚と刃出し量も提供可能です。

参考URL

http://www.kns.com/Templates/ShowPage.asp?TMID=108&FID=120&PID=2117

お問い合わせ

電子材料部(ブレード)
〒141-0001
東京都品川区北品川五丁目5番15号
大崎ブライトコア19階
TEL:03-3442-5143 FAX:03-3442-5175

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