メーカー概要

Kulicke & Soffa社のウエハーダイシング用ハブブレードの最新ラインナップであるHCLシリーズを紹介します。
Kulicke & Soffa社は半導体組立装置、部材及びテクノロジーの世界有数のメーカーであり、1956年の設立以来ボンディング業界をリードする存在としてそのシェアを拡大してきました。
Kulicke & Soffa社では各種ボンダーをはじめボンディングキャピラリー、ダイシングブレードやピックアップツールまで広くラインナップしております。ウエハダイシング用のハブブレードでは広範なグリットサイズ、ダイヤモンド集中度、ボンド硬さからご提案可能で、お客様の高集積化、狭ストリート幅、薄ウェハー化や高スループット要求に応え、優れたカット品質、ブレードライフ、スループットを提供します。
 

HCLシリーズ
商品概要

HCLブレードシリーズはディスクリート半導体、ロジックIC、LCDドライバ向けのシリコンウエハーダイシング向けに開発された新型ハブブレードで、優れた製品品質と付加価値によりウエハーダイシングにおける優れたカット品質、精度、コスト改善のための様々なソリューションを提供します。
 

アップデートポイント

製造時のドレス工程により、刃先のダイヤモンド砥粒の露出を最適化し、ブレードの真円出しを事前に行います。 HCLブレードは、ブレードダイシング工程のプリカット、プリドレス工程を短縮し、各アプリケーションレシピにおいてブレードの切削力を最大限に引き出すことが可能です。
 

サンプル評価サイクルの短縮
HCLブレードを最短でご評価、量産適用して頂くために、クイックサンプルセレクションガイドをご用意しました。さらに、K&Sは、お客様の評価プロセスを短縮し、評価コストを抑えるため自社のアプリケーションラボで無償のDOEサポートを提供します。

特徴

・シングルカット、ステップカットに対応
・新しいハブデザインにより高スピンドルに対応
・標準化された型番構成を採用
・ハブ上の刻印の視認性が向上

 

カーフの安定性
ウエハー　　　　　：8.0インチ 300 μm ミラーウエハー
テープ　　　　　　：SPV224 DAD3350
スピンドル　　　　：36krpm
カット速度　　　　：50mm/sec
モード　　　　　　：シングルカット

図1-1：カット距離に対するカーフの傾向

摩耗の安定性

ウエハ　　　：ミラーウエハー
カット速度　：最大50mm/秒のプリカットランプ
厚み　　　　：0.3mm
スピンドル　：36krpm
ハイト　　　：0.045mm
ブレード　　：SC-30-Q-70-CB と J0825-Q3H0-000 を比較

図1-2：摩耗の傾向


バイブレーションコントロール
優れたバイブレーションコントロールによるデルタカーフ（カーフから刃厚を引いた値）を縮小し、刃出量を大きくできるためブレードの平均寿命も向上

図1-3：各寸法の名称

 

 

チッピングの抑制

バイブレーションコントロールによりトップ・サイド・チッピングが改善

図1-4：ウエハ表面（上図）とウエハ側面（下図）　　　 図1-5：トップ・サイド・チッピングの可変チャート

ウエハー　　　　　：ディスクリートウエハー
ウエハー厚　　　　：0.3 mm
スピンドル　　　　：36 krpm
カット速度　　　　：最大50 mm/sの プリカットランプ
ハイト　　　　　　：0.045mm
ブレード　　　　　：SC-20-Q-70-CB


型番の構成




上位グレードの高性能なHPL Maxシリーズのブレードはこちら

K&S社 製品ページ

Dicing Blades：
https://www.kns.com/Products/Consumables/Dicing-Blades