商品情報
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ボンディングキャピラリー/Auワイヤー・Ag合金ワイヤー(金線・銀線)用 Au wire / Ag alloy wire Bonding Capillary
メーカー概要
Kulicke & Soffa社の金線・銀線向けボンディングキャピラリーの最新ラインナップであるTeraCapシリーズとiCapシリーズを紹介します。Kulicke & Soffa社は半導体組立装置、部材及びテクノロジーの世界有数のメーカーであり、1956年の設立以来ボンディング業界をリードする存在としてそのシェアを拡大してきました。
Kulicke & Soffa社では各種ボンダーをはじめボンディングキャピラリー、ダイシングブレードやピックアップツールまで広くラインナップしており、ボンディングキャピラリーではファインピッチアプリケーションはもちろん、ワイヤーの素材やワイヤー径に合わせて様々なラインナップからご提案させていただきます。表面処理やボトルネックキャピラリー等の各種オプションもご用意しております。
TeraCapシリーズ
商品概要
メモリ・ロジックデバイスの最先端パッケージング向けに開発された
金線・銀線用のボンディングキャピラリーです。
特徴
・高品質セラミックスの新素材 iZX を使用・H(ホール径)、CD(チャンファー径)の公差を厳しく管理 -0/+1 [um]
・スタックチップやディープアクセス、オーバーハングなど様々な構造のメモリデバイスに適用可能なデザインルールを採用
(図1-1を参照)
・キャピラリー先端へのコンタミネーションの蓄積を抑えることで、優れた接合性とループの安定性を実現
・キャピラリーライフが向上し、キャピラリー1本当たりのボンド数が増加
・作業性の向上(※1)により1時間あたりのボンド数が増加
※1:Mean Time Between Assist(MTBA)指標をもとに評価
適用可能な範囲
・ボンドパッドピッチ(BPP):40 - 120 [um]
・ワイヤー径:15 - 33 [um]
・ワイヤータイプ:Auワイヤー、Ag合金ワイヤー
・デバイスタイプ:メモリ及びロジックデバイス
φ0.7 mil(18 um)Auワイヤーを用いたライフスパンテスト
ボンディング条件・ボンダーモデル:K&S社製 IConn
・TeraCapデザイン(図1-2を参照)
:H ₌ 23, CD ₌ 28, T(チップ径) ₌ 62,OR(アウターラディアス)₌8
ボンディング試験結果
・TeraCapは1,000万ボンド後も安定したルーピング性能を示しました。
φ0.7 mil(18 um)Ag合金ワイヤーを用いたライフスパンテスト
ボンディング条件・ボンダーモデル:K&S社製 Iconn ProCu PLUS
・ワイヤー径、ワイヤータイプ:0.7 mil(18 um)、Ag合金
・TeraCapデザイン:H = 23, CD = 28, T = 62, OR = 8
ボンディング試験結果
・広いプロセスウィンドウで優れた1stボンド品質(シェア強度・合金形成率)
・SSBおよびMSoBボンディングに対応
iCapシリーズ
商品概要
金線用キャピラリーの次世代シリーズであるiCapはiCap単体はもちろん従来のボンディングキャピラリーシリーズとの組み合わせでもご使用いただけます。
特徴
新素材iZAの開発
・新素材iZAは、アルミナとジルコニアの比率を最適化・サブミクロンオーダーの粒径管理により大幅に破壊靭性が改善(※2)
※2 従来の高品質セラミックであるTA(Tough Alumina)と比較
アップグレードされた製造プロセス
・材料調製に新しいメディア(ボールミル)を採用し、結晶粒の特性をより正確に制御可能
・最新の粉砕技術によりバルク内部の粒子分散の均一性を向上
・セラミックスの焼結プロセスを最適化
独自のキャピラリーデザインルール
・キャピラリーの動作安定性を向上させる一連の新しいデザインルールを採用
適用可能な範囲
・ボンドパッドピッチ(BPP):45 - 120 [um] ・ワイヤー径:15 - 33 [um]
・ワイヤータイプ:Auワイヤー、Ag合金ワイヤー
・デバイスタイプ:50 - 130 [KHz]範囲の周波数のワイヤボンダーに対応
iCapとDuraCapの耐久性及び生産性の試験結果
様々なBPPにおける金線ボールボンディング用途を想定し、量産品にて以下の性能の向上を検証済みです。
・キャピラリ1本当たり最低1.5倍のボンディングが可能であり、ランニングコストを削減
・ボンディング不良の減少による生産性の向上(MTBAにて評価)
ボンディング条件
・パッケージタイプ:VQFNp 32L (146 x 146)
・BPP:100 [um]
・ワイヤー径、ワイヤータイプ :1 mil (25 um)、MKE 4N
・ボンダーモデル:K&S社製 8028PPS
・キャピラリー:DuraCap 4A8FA-3402-A33, iCap 4D8FA-4307-I33 各3本ずつ
耐摩耗性に優れたCuワイヤーアプリケーション向けロングライフキャピラリーはこちら
K&S社 製品ページ
TeraCap:https://www.kns.com/Products/Consumables/Capillaries/TeraCapiCap:https://www.kns.com/Products/Consumables/Capillaries/iCap
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