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ボンディングキャピラリー/Cuワイヤー(銅線)用 Cu wire Bonding Capillary


メーカー概要 

Kulicke & Soffa社の金線・銀線向けボンディングキャピラリーの最新ラインナップであるTeraCapシリーズとiCapシリーズを紹介します。Kulicke & Soffa社は半導体組立装置、部材及びテクノロジーの世界有数のメーカーであり、1956年の設立以来ボンディング業界をリードする存在としてそのシェアを拡大してきました。
Kulicke & Soffa社では各種ボンダーをはじめボンディングキャピラリー、ダイシングブレードやピックアップツールまで広くラインナップしており、ボンディングキャピラリーではファインピッチアプリケーションはもちろん、ワイヤーの素材やワイヤー径に合わせて様々なラインナップからご提案させていただきます。表面処理やボトルネックキャピラリー等の各種オプションもご用意しております。



Quantis QFNシリーズ

商品概要

Kulicke & Soffa社の豊富な銅線アプリケーションの経験を基に開発されたデザインにより
QFNパッケージの厳しいプロセス要求に対応したCuワイヤー向けキャピラリーです。

特徴

・最高品質のマイクロストラクチャーと破壊靭性を有するセラミックスの新素材RP1を使用
・優れた機械特性によりボンディングパフォーマンスの安定性向上
・プロセスの安定性と他シリーズとのポータビリティの向上
 -広いプロセスウィンドウに対応
 -安定したボンディングレスポンス
・優れたCoO(Cost of Ownership)
 -最適化されたデザインと材料の機械特性により、チップの摩耗速度が低下
 -生産性向上につながる優れた作業性
 -キャピラリー1本当たり、および1時間当たりのボンド数が増加

適用可能な範囲

・ワイヤー径:0.7 - 2.5 [mil](18 - 63.5 [um])
・ワイヤータイプ:ベア銅(Bare Copper)、パラジウムコーティング銅(PdCu)
・デバイスタイプ:標準的なピンカウントのQFNとQFPおよび、その他各種のサブタイプ

優れたステッチボンドと耐摩耗性

ボンディング条件図1-1:50万ボンドまでのステッチボンド強度の推移
・ボンダーモデル:K&S社製 Iconn ME
・パッケージタイプ:Rough-PPF QFN
・ワイヤー径、ワイヤータイプ:0.8 mil(20 um)、PdCu
・サンプル数:Quantis QFN 12本 他社製キャピラリー8本


Quantis QFNによるボンディング試験結果
・優れたステッチボンド強度を長時間維持
・スペック下限値5.5 [g]を大きく上回る1stボンド強度
・他社製キャピラリーと比較して、摩耗量が少ない

図1-2:Quantis QFNと他社製キャピラリーの摩耗量の比較 左が拡大像 右が摩耗した体積

Quantis QFN使用時のライフスパンテスト

ボンディング条件図1-3:130万ボンド分の2stボンドのスティッチプル試験結果
・ボンダーモデル:K&S社製 Iconn ProCu
・パッケージタイプ:QFN 10 x 8,48L(Agメッキ)
・ワイヤー径、ワイヤータイプ:0.7 mil(18 um)、PdCu
ボンディング要件
・ボールせん断:≧ 10 [g]
・ボール径、高さ:40 [um]、8 - 10 [um]
・ステッチプル強度:> 3.0 [g]
Quantis QFNによるボンディング試験結果
・試験全体を通して優れた2ndボンド品質
・スペック下限値 3 [g]を大きく上回るステッチボンド強度
・150万ボンドまで優れた加工性とプロセス応答性を維持
 
図1-4:USG=70mAの時の1stボンドの合金形成率は90%以上




OPTiシリーズ

商品概要

ACSシリーズに次ぐアップデートバージョンの新型キャピラリーシリーズで、
多様なICパッケージングアプリケーションに対応したCuワイヤー用最新キャピラリーです。

特徴

・高品質セラミックスの新素材PTXを採用
・最新の製造プロセス
・ACSシリーズで実績のあるデザインルールを採用

適用可能な範囲

・OPTiシリーズは現在ご使用のACSシリーズのプロセスウィンドウでご使用いただけます。
・OPTiシリーズはアプリケーションに合わせて3種類の製品タイプからお選びいただけます。


OPTiシリーズ - セラミック新素材PTX

PTX材の微細なグレインサイズと高い硬度により、ライフの改善とプロセスの安定化が可能です。
図2-1:ACSシリーズに採用されたITX材と新素材PTX材を比較。左-平均グレインサイズ、右-硬度
 

汚れの付着が少ないAu・Ag合金ワイヤーアプリケーション向けロングライフキャピラリーはこちら
 


K&S社 製品ページ

Quantis QFN:https://www.kns.com/Products/Consumables/Capillaries/Quantis-QFN
OPTi:https://www.kns.com/Products/Consumables/Capillaries/Opti

 

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お問い合わせ

電子材料部
〒141-0001
東京都品川区北品川五丁目5番15号
大崎ブライトコア19階
TEL:03-3442-5143 FAX:03-3442-5175

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